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ST2263型双电测数字式四探针测试仪
ST2263型双电测数字式四探针测试仪
产品类别: ST2263型双电测数字式四探针测试仪
上架时间: 2013/4/30 18:28:47
浏览次数: 7950
产品详细
 

    ST2263型双电测数字式四探针测试仪简介

一 结构特征

 
 
         ST2263型双电测数字式四探针测试仪
  ST2263 软件界面
     
 
   配S2253-F01钨针探头测硅片      配ST2558B-F01探头测试ITO薄膜
 
二、概述
     ST2263型双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,它与单电测直线或方形四探针相比,大大提高精确度,特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。
     仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等部分组成。
     主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成,USB通讯接口。仪器主机所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘和数码开关输入;具有零位、满度自校功能;测试功能可自动/手动方式;仪器操作可由配套软件在PC机上操作完成,也可脱PC机由四探针仪器面板上独立操作完成。测试结果数据由主机数码管直接显示,也可连机由软件界面同步显示、分析、保存和打印!
     探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。
     测试台选配:一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。
     仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。
     仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试,特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。
三、基本技术参数
3.1  测量范围
    电阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm
    方  阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□
    电  阻:1×10-5~2×105 Ω   ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω
3.2  材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定)
    直    径:SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm,手持方式不限
    SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm,手持方式不限.
    长(高)度:测试台直接测试方式 H≤100mm,    手持方式不限.
    测量方位: 轴向、径向均可
3.3.  4-1/2 位数字电压表:
    (1)量程: 20.00mV~2000mV
    (2)误差:±0.1%读数±2 字
3.4  数控恒流源
   (1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA,1A
   (2)误差:±0.1%读数±2 字
3.5  四探针探头(选配其一或加配全部)
   (1)碳化钨探针:Φ0.5mm,直线探针间距1.0mm,探针压力: 0~2kg 可调
   (2)薄膜方阻探针:Φ0.7mm,直线或方形探针间距2.0mm,探针压力: 0~0.6kg 可调
3.6 电源
   输入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗:<20W
3.7 外形尺寸:
   主机  220mm(长)×245 mm(宽)×100mm(高)
四、详情请登陆苏州晶格电子有限公司官方网站http://www.jgdz.com.cn  或
     查看《ST2263型双电测数字式四探针测试仪技术使用说明书》

五、联系方式:18914021918/0512-80973697    QQ:2851706351 丁先生

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