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硅材料电阻率测试方案
硅材料电阻率测试方案
本方案介绍了硅材料电阻率、方阻测试时四探针探头、四探针仪器和四探针测试台选择原则和型号推荐。
产品类别: 硅材料电阻率方阻测试方案
上架时间: 2015/9/2 14:19:29
浏览次数: 8519
产品详细

 一、可以测试的硅材料类型

         

               图1-1 硅晶棒晶锭        图1-2 多晶硅片    图1-3 单晶硅片

                                                                                   

                     图1-4普通硅片       图 1-4 硅块料                                                 

二、仪器配件选配方案

   硅材料电阻率、方阻测试方案选配核心的原则,一是要选择专门测试硅材料的钨针探头,耐磨性好,使
用时间长,二是要知道硅材料的电阻率范围,以便选配我公司合适的四探针测试仪。
   硅材料电阻率测试的方案选配分三个方面探头的选配、仪器的选配、测试台的选配。任意三件套组成
可以构成不同特色的方案,或侧重价格、或侧重技术精度、或适用场合或综合考虑。
   2.1 探头的选配:由于硅材料是硬度高,表面一般较粗糙,甚至有影响测试的氧化层等,所以硅材料测试
探头选配原则是耐磨耐用,要有一定穿透性,推荐使用ST2253-F01型碳化钨针四探针探头。
如图2-1 点击这里查看详情

 

 图 2-1 ST2253-F01 碳化钨针探头

   市场上也有钢针的,但是耐用寿命不如碳化钨针。我们苏州晶格只有钨针的。测试探头有台式的可以配合在任
意一款测试台上。图示为SZT-C型快速恒压四探针测试台,也有手持式的,适合手持式测试的。

                点击这里查看详情

           图2-2 SZT-C测试台

  2.2 四探针测试仪选配

     四探针测试仪选配的基本原则是材料电阻率或方阻的测试范围、测试精度,一般测试范围不算大的可
以选M-3手持式,如果范围测试大一点的可以选择台式的ST2258C,带PC软件的可以选择ST2253,如果想测
试精度更好,更准一点的可以选择双电测ST2263,这款也带电脑PC软件的。这三款可以自由选配,如下图 
所示

    M-3手持式四探针测试 点击这里查看详情

测试范围、分辨率

  电  阻:  0.010Ω   ~  50.00kΩ,   分辨率0.001Ω ~ 10 Ω
 电 阻 率:  0.010Ω-cm ~ 20.00kΩ-cm, 分辨率0.001Ω ~ 10 Ω-cm
 方块电阻:  0.050Ω/□ ~ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω ~ 10 Ω/□

 量程划分及误差等级


M-3手持式四探针仪器 如下图   点击这里查看详情

     M-3手持式是款充电式,里面是五个量程的,直接拿在手上就可以进行测试了,在车间
或出差方便携带。

          


 台式ST2258C四探针测试仪   点击这里查看详情

测试范围、分辨率

  电   阻:10.0×10-6 ~ 200.0×10∧3Ω,   分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10∧3  Ω
      (1.0×10-6 ~ 20.00×10∧3  Ω,    分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×10∧3 Ω)
  电 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×10∧3 Ω-cm  分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10∧3  Ω-cm
      (1.0×10-6 ~ 20.00×10∧3 Ω-cm   分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×10∧3 Ω-cm)
  方块电阻:50.0×10-6 ~ 900.0×10∧3 Ω/□  分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×10∧3  Ω/□ 
     (5.0×10-6 ~ 100.0×10∧3 Ω/□   分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×10∧3  Ω/□)

量程划分及误差等级

       台式ST2258C是款测试范围大一点,是八档宽量程的,手动/自动量程,带产品分类功能,比
M-3手持式多几个量程。不带电脑pc测试软件的,手工记录数据。

     

ST2258C

台式ST2253四探针测试仪   点击这里查看详情

测试范围、分辨率

  电  阻:1×10-4~2×10∧5 Ω   ,  分辨率:1×10-5~1×10∧2 Ω
  电阻率:1×10-4~2×10∧5 Ω-cm,  分辨率:1×10-5~1×10∧2 Ω-cm
  方  阻:5×10-4~1×10∧6 Ω/□,  分辨率:5×10-5~1×10∧2 Ω/□
量程划分及误差

                              

        ST2253测试范围和ST2258C是一样的,也是八档宽量程的。但ST2253是带电脑PC软件的,能够
方便的记录数据和储存数据。

 

 台式ST2263四探针测试仪   点击这里查看详情

测试范围、分辨率

   电阻率:1×10-4~2×10∧5 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×10∧2 Ω-cm
   方  阻:5×10-4~1×10∧6 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×10∧2 Ω/□
   电  阻:1×10-5~2×10∧5 Ω   ,分辨率:1×10-6~1×10∧2 Ω

量程划分及误差等级


台式ST2263如下图  所示

        台式ST2263这款是双电测的,误差小,测试更精准,带电脑PC软件

 

2.3 硅材料测试四探针测试台选配  点击这里查看详情

   一般测试台可以选配我公司手动式的SZT-C,上下压力可以手动调节,SZT-A或电动SZT-B型的都
可以选择使用。

             

                                SZT-C                      SZT-A                    SZT-B

 

 

 

 

  

                                                 

 

 

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